Robot and Laser Technology
半導体形成において、製造装置生産プロセスの工程です。PHTはロボットのトップレベル技術を活かし半導体製造装置を生産、トップメーカーに納入。ロボットにウェーハマッピング機能が付帯されているので、OPENキャリア側のウェーハ在荷も検出可能。20年以上の装置も、正常に稼働し、メタル汚染・パーティクル増加はないです。半導体の高機能化、高性能化を支えています。
Energy Saving Semiconductor Technology
ウェーハ自動剥離装置世界トップシェアのPHT株式会社はこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。PHTは、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。
