3軸円筒座標型クリーンロボット（ガラス基板対応） PHT2200
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製品特徴
本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。
前後（Ｘ軸）・旋回（θ軸）・上下（Ｚ軸）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ＡＣサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
製品概要
| モデル | PHT2200 |
|---|---|
| 設置環境 | クリーンルーム内 大気中 温度10℃～35℃ 湿度70％RH以下 |
| アーム | シングルアーム 材質 アルミ・ＣＦＲＰ・セラミック |
| 動作範囲 | Ｘ軸：1050mm θ軸：340deg Ｚ軸：400mm |
| 動作速度（最速） | Ｘ軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Ｚ軸：250mm/sec |
| 可搬質量 | 10kg（ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計） |
ロボット標準仕様
| ロボット型式 | PHT-R-3-2200 |
|---|---|
| 被搬送物 | ～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） |
| ウェーハ保持方式 | 真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 円筒座標系 |
| 制御軸 | 3軸 |
| 駆動源 | 伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動 |
| モータタイプ | ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 |
| 搬送ハンド | CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式 |
| マッピング | 光電式 透過型センサ |
| 重量 | 本体重量：約47Kg コントローラ：約8Kg |
| 制御ケーブル | 3m（標準）5m・10m |
| 制御仕様（1） | パラレルインターフェース 入力 32点 出力 32点 |
| 制御仕様（2） | シリアルインターフェース RS-232C×１回線 |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm 以下 |
| クリーン度 | ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/ｍ³ 以下) |
| ユーティリティ | 定格電圧：単相 AC200～230V±10% 定格電流：5A 真空：-80kPa以下 10NL/min 以上 |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | MDF |
| インタフェース | RS232C １回線 デジタルＩＯ 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下 |
外観図（標準仕様）
本図の内容は、PHT株式会社が所有権を有するもので機密扱いとなっております。許可なく複写したり、第三者にこれを公開することのないようにお願い致します。