EFEM・ソータ
EFEM・Sorter
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装置仕様
| 型式 | TYK2102-2 | TYK2102-3 |
|---|---|---|
| ポート数 | 2ポート | 3ポート |
| 搬送対象 | 300mmウェーハ 径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm | |
| キャリア | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) |
|
| 電源電圧 | 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | |
| 消費電流 | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | |
| 真空（元圧） | -80kPa～-90kPa | |
| 真空（流量） | 40L/min | 50L/min |
| 正圧（元圧） | 0.6MPa～0.7MPa | |
| 正圧（流量） | 20L/min | 30L/min |
| EMO接点出力 | 2系統（ドライ接点） | |
| インターロック | 入力8点/出力8点(絶縁I/O) | |
概要
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。
特長
- アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
- 様々ななバリエーション、カスタム対応
- 200mm/300mm兼用可能