EFEM・ソータ
P-EFEM・P-Sorter

EFEM・ソータ
P-EFEM

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装置仕様

型式 TYK2102-2 TYK2102-3
ポート数 2ポート 3ポート
搬送対象 300mmウェーハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)
300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 40L/min 50L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 20L/min 30L/min
EMO接点出力 2系統(ドライ接点)
インターロック 入力8点/出力8点(絶縁I/O)

概要

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

特長

  • アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
  • 様々ななバリエーション、カスタム対応
  • 200mm/300mm兼用可能