Robot and Laser Technology
반도체 형성에 있어서 제조장치 생산 프로세스의 공정입니다. PHT는 최고 수준의 로봇 기술을 활용하여 반도체 제조 장비를 생산하고 최고 제조업체에 제공합니다. 로봇에는 웨이퍼 매핑 기능이 있으므로 OPEN 캐리어 측에서 웨이퍼의 존재를 감지할 수 있습니다. 가동된 지 20년이 넘은 장비도 금속 오염이나 입자 증가 없이 정상적으로 작동하고 있습니다. 반도체 기능 및 성능 향상을 지원합니다.
Energy Saving Semiconductor Technology
웨이퍼 자동 박리 장치 세계 톱쉐어의 PHT 주식회사는 지금까지 실리콘 웨이퍼의 반송이나 레이저 가공 기술을 활용해 차세대 SiC(탄화규소)나 GaN(질화갈륨) 재료를 시작으로 화합물 반도체용 반송 솔루션(로봇·반송 「반송장치 혹은 이재장치, EFEM, SORTER」·자동 박리 세정 장치·세정 장치)을 제안해, 특히 파워 반도체 시장에 적극적으로 접근하고 있습니다.PHT는, 에너지 절약용(전기 자동차, 전력 제어)의 반도체 제조 장치에 종합 솔루션의 제공 체제를 창출하고 있습니다.
Wafer And Power Device Cleaning Technology
PHT 반도체 세정 장치의 경쟁력은 세계 최초로 각 유닛의 모듈화입니다.전공정에서의 세정은 각각의 공정에서 생기는 오염물 제거가 주된 목적이고, 후공정에서의 세정은 파티클 제거 및 메탈 제거가 주된 목적입니다.대표적인 세정 기법은 RCA 세정이라고 불리는 세정 방법이 됩니다.톱 레벨 기술을 활용해 반도체 제조 장치를 생산, 톱 메이커에의 납품 실적도 있습니다.모든 웨트 처리 공정에서 활약이 가능합니다.
