제품 정보

반도체 이송 시스템 사업

웨이퍼 이송 로봇 시리즈

4축 클린 로봇
앞뒤(X축)·회전(θ축)·상하(Z축)＋핸드 회전(0～180°) 동작이 가능하며, 웨이퍼의 대기 중 이송에 대응합니다. 구동 모터는 AC 서보 모터를 사용하며, 모든 축에 절대값 엔코더를 탑재하고 있습니다.
3축 클린 로봇
PHT-R-3は、伸縮・回転・上下の3軸で動作するロボットで、クリーンルームで使用する水平多関節型です。
유리 기판용 클린 로봇
전후(X축)・회전(θ축)・상하(Z축) 동작이 가능하며 웨이퍼의 대기 중 이송에 대응합니다.

웨이퍼 이송 장비 시리즈

웨이퍼 카세트 체인저
소정의 카세트에 수납된 200mm·300mm용 다이싱 프레임을 표준 카세트로 교체하는 시스템입니다. 사용하는 카세트는 6장 수납 카세트와 13장 수납 카세트입니다. 각 카세트는 작업자가 스테이지에 공급합니다.
웨이퍼 이송 장치
부가 기능으로 웨이퍼 표면에 레이저 마킹된 웨이퍼 ID의 읽기 및 얼라인먼트 기능 등을 추가할 수 있습니다. 웨이퍼 200mm 및 300mm에 대응 가능하며, 사용 캐리어나 기능에 따라 대응 가능 여부를 검토할 수 있습니다. face to face 이송 및 back to back 이송에도 대응합니다.
EFEM・소터
고성능 AC 서보 모터를 탑재하여 여유 있는 가반 중량으로 고속 이송을 실현합니다. 로봇, 로드 포트, 핸드의 최적 배치를 구현할 수 있습니다. 열악한 환경에서도 수십 년 이상 작동해 온 로봇 기술을 계승하여 고장이 거의 발생하지 않습니다.
반도체 세척 장비 사업

웨이퍼 세척 장비 시리즈

웨이퍼 자동 박리 장치
와이어 소우(슬라이스) 후의 웨이퍼를 플레이트 지그(빔)에서 분리하는 장치입니다. 거친 세정을 진행하며, 웨이퍼를 플레이트 지그(빔)에서 분리한 후 개별 세정을 거쳐 웨이퍼를 카세트에 수납하는 작업까지 전자동으로 수행하는 시스템입니다.
실리콘 웨이퍼 배치식 자동 세정 장치
SiC는 별도의 사양 협의가 필요합니다.
다양한 분야의 대응 실적을 바탕으로 최적의 맞춤형 설계를 제공하는 배치식 장치입니다.
캐리어 수신 및 세정 장치
차세대 반도체를 위해 개발된 최첨단 Chiplet 패키징 기술에서, 유리 기판이 패키징용 캐리어 기판으로 활용될 것으로 예상됩니다.
당사는 유리 캐리어 기판의 이송 및 세정을 위한 솔루션을 제공합니다.