유리 기판용 클린 로봇

모델

PHT2200

가반 중량

10kg (팔의 기둥, 팔 및 작업물 무게 총합)

팔

단일 팔
재질: 알루미늄, CFRP, 세라믹

설치 환경

클린룸 내
대기 온도 10℃～35℃　습도 70%RH 이하

동작 범위

X축: 1050mm
θ축: 340°
Z축: 400mm

동작 속도 (최고 속도)

X축: 500mm/sec
θ축: 200°/sec
Z축: 250mm/sec

로봇 형식

PHT-R-3-2200

제어 케이블

3m(표준)・5m・10m

유리 기판 유지 방식

진공 흡착・엣지 클램프・엣지 홀드

기계 구조 형식

수평 다관절형 원통 좌표계

제어 축

3축

구동 원

신축・회전・상하 3축 AC 서보 구동

모터 타입

AC 서보 모터 절대 엔코더 사양

반송 핸드

CFRP+PEEK 유리 기판 낙하 방식

매핑

광전식 투과형 센서

반송 물체

〜⬜︎600mm
기타 특수 워크, 형태, 재질에도 유연하게 커스터마이징 대응 가능합니다

무게

본체 무게: 약 47kg

제어 사양 (1)

병렬 인터페이스
입력 32점 출력 32점

제어 사양 (2)

시리얼 인터페이스
RS-232C × 1회선

반복 정밀도

±0.1mm 이하

클린 등급

ISO 클래스2(0.1μm 이상 10개/m³ 이하)

유틸리티

정격 전압: 단상 AC200～230V ± 10%
정격 전류: 5A
진공: -80kPa 이하 10NL/min 이상