4축 클린 로봇

모델

PHT-R-4

최대 적재 중량

33kg (핸드 베이스, 핸드, 작업물 무게의 합계)

암(Arm)

싱글 암
재질: 알루미늄, CFRP, 세라믹

설치 환경

클린룸 내부
대기 온도 10℃~35℃ 습도 70% RH 이하

작동 범위

X축: 500mm
θ축: 340°
Z축: 300mm
핸드 회전: 0~180°

작동 속도 (최고 속도)

X축: 500mm/sec
θ축: 200°/sec
Z축: 250mm/sec
핸드 회전: 180°/sec

로봇 형식

PHT-R-4-2022

제어 케이블

3m (표준)・5m・10m

>웨이퍼 유지 방식

진공 흡착・엣지 클램프・엣지 홀드

기계 구조 형식

수평 다관절형　원통 좌표계

제어 축

4축

모터 타입

AC 서보 모터　앱솔루트 엔코더 사양

중량

본체 중량: 약 47kg

운반 물체

~300mm 웨이퍼
기타 특수한 작업물, 형태, 재질에 대한 유연한 커스터마이즈 대응 가능

제어 사양 (1)

패럴렐 인터페이스
입력 32점 출력 32점

제어 사양 (2)

시리얼 인터페이스
RS-232C × 1회선

반복 정밀도

±0.1mm 이하

클린도

ISO 클래스 2 (0.1μm 이상 10개/m³ 이하)

유틸리티

정격 전압: 단상 AC 200~230V ± 10%
정격 전류: 5A
진공: -80kPa 이하 10NL/min 이상