3축 클린 로봇

모델명

PHT-R-3

가반 중량

3kg (팔의 기둥, 팔 및 작업물의 총 중량)

설치 환경

클린룸 내
대기 온도 10℃～35℃　습도 70％RH 이하

팔

단일 팔
재질: 알루미늄 합금, CFRP(탄소 섬유 강화 플라스틱), 세라믹

동작 범위

X축: 500mm
θ축: 340°
Z축: 300mm
팔 회전: 0～180°

동작 속도 (최대)

X축: 500mm/sec
θ축: 200°/sec
Z축: 250mm/sec
팔 회전: 180°/sec

로봇 형식

PHT-R-3-2024

제어 케이블

3m(표준)・5m・10m

웨이퍼 유지 방식

진공 흡착・엣지 클램프・엣지 홀드

기계 구조 형식

수평 다관절형　원통 좌표계

제어 축

3축

구동 원

신축・회전・상하　3축 AC 서보 구동

모터 타입

AC 서보 모터　절대 엔코더 사양

반송 핸드

CFRP+PEEK 웨이퍼 낙하 방식

매핑

광전식 투과형 센서

반복 정밀도

±0.1mm 이하

무게

본체 무게: 약 47kg

클린 등급

ISO 클래스2(0.1μm 이상 10개/m³ 이하)

제어 사양 (1)

병렬 인터페이스
입력 32점　출력 32점

제어 사양 (2)

시리얼 인터페이스
RS-232C × 1회선

유틸리티

정격 전압: 단상 AC200～230V ± 10%
정격 전류: 5A
진공: -80kPa 이하　10NL/min 이상

반송 물체

～300mm 웨이퍼
기타 특수 워크, 형태, 재질에도 유연하게 커스터마이징 대응 가능합니다