웨이퍼자동박리장치

반도체 제조에는 매우 깨끗한 환경에서의 고속 반송이 요구됩니다. 당사에서 제공하고 있는 반도체 처리 설비에 이용되는 웨이퍼 자동 박리 장치도 그러한 요구에 부응하도록 타사보다 앞서 다양한 연구가 이루어지고 있습니다. 그 높은 신뢰성과 생산성은 월드 와이드 고객으로부터 평가받고 있습니다.최첨단의 업계 스탠다드 장치로서 최첨단 기술과 다양한 요구에 대응하기 위해 계속 진화하고 있습니다.

와이어 소(슬라이스)후 웨이퍼 자동박리장치

본 장치는 와이어 소(슬라이스) 후의 웨이퍼를 플레이트 지그(빔)로부터 박리하는 장치입니다.거친 세정을 실시하고, 웨이퍼를 플레이트 지그(빔)로부터 박리해, 매엽 세정을 거쳐 웨이퍼의 카세트 수납까지 전자동으로 실시하는 시스템입니다.

웨이퍼자동박리장치 PWD2020

문의하기

개요

와이어 소(슬라이스)후웨이퍼자동박리장치입니다.플레이트 지그에 접착된 잉곳을 투입측에 세팅함으로써, 조세정~웨이퍼 박리~웨이퍼 매엽 세정~건조~카세트 수납까지를 전자동으로 실시하는 시스템입니다.박리 후 플레이트 지그는 언로더 측으로 배출됩니다.

박리는, 열풍 가열 방식으로, 1매 마다 실시합니다.박리 후 웨이퍼는 매엽식 세정입니다.2유체고압세정~스크럽세정~린스세정~흡수롤러건조~슬릿노즐건조후수평다관절로봇으로언로더부의카세트에1매마다수납합니다.수납은 카세트(25매입)의 상단~또는 하단에서 선택할 수 있습니다.수납 카세트는 최대 6개입니다.OHT 반송에 대응하고 있습니다.

특장

  • 독자적인 제어에 의한 슬라이드 기구.
  • 어려웠던 웨이퍼 박리 후 세정 자동화.
  • 와이어쏘로 절단한 웨이퍼를 빔으로부터 박리 후에 매엽으로 세정해, 카세트에 수납할 때까지를 전자동으로 실시합니다.
  • 낮은 러닝 코스트 실현.
  • 사용하시는 잉곳 리프터에 맞게 설계 가능.
  • 옵션에 따라 로더 ID 리더 추가 가능.
  • 옵션에 의해 언로더 캐리어부에 RFID 기능 추가 가능.

도입 사례

수동 박리를 자동화하고 싶다

웨이퍼의 정보를 관리하고 싶다

검토 가능

카세트 스테이지 수, 자동화, 워크 사이즈, 투입 리프터 대응 설계 등

웨이퍼 자동 박리 장치 PWD2010 웨이퍼 자동 박리 장치 PWD2020
버전 Type0 Type1 Type0 Type1
대응 사이즈 φ4〜8″ φ12″
구성 박리부 박리부 박리부 박리부
세척부1 세척부1 세척부1 세척부1
세척부2 세척부2 세척부2 세척부2
웨이퍼 인도부 웨이퍼 인도부 웨이퍼 인도부 웨이퍼 인도부
반송부 반송부
로더 로더
언로더 언로더
수납 카세트(25장입)
수납 카세트 최대 6개(검토 가능)
플레이트 치구 NTC제.MB제
구동방식 모터 구동(서보)
안전기구 카세트 유무, 웨이퍼 유무, 과부하 감지, 이상 경보, 비상 정지
전원 AC200V, 100A
장치 중량 약5,000kg
옵션 로더부 ID 리더, 언로더부 RFID, 웨이퍼 뒤집기, 다중 카세트에 수납, 에어리어 센서 등.