제품 정보

캐리어 수신 및 세정 장치 PWG-2501

차세대 반도체를 위한 최첨단 칩렛 패키지 기술이 개발되고 있으며, 유리 기판은 패키지용 캐리어 기판으로의 적용이 예상되고 있습니다. 해당 유리 캐리어 기판의 이송 및 세정 장비에 대한 제안이 가능합니다.

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장치 사양

투입 컨베이어 부
□ 600mm × 두께 0.7～1.2mm 1장 투입 가능
아이들 포지션
세정 투입 대기부, 배기 기능 포함
샤워 (1)
순수 샤워＋2유체 노즐 세정
브러시 세정 부
순수 샤워 세정＋스파이럴 브러시
샤워 (2)
순수에 의한 린스 세정
샤워 (3)
순수에 의한 최종 린스 세정
물 제거 롤러 부
흡수 롤러에 의한 물 제거
에어 건조 부
에어 나이프에 의한 건조
이오나이저
이오나이저 블로우 건조

※ 옵션으로, 카세트 매거진～로봇을 통해 단일 장 투입도 가능합니다.

도입 사례

본 장치는 유리 기판 수입 세정에 사용됩니다. 약액은 사용하지 않고 순수(DIW)만을 사용합니다.

세정 프로세스와 장비 구성
프로세스는 아래 순서로 진행됩니다.
(1) 투입 컨베이어 → (2) 아이들 → (3) 2유체 샤워 세정 → (4) 브러시 세정 → (5) 순수 샤워 세정 → (6) 순수에 의한 최종 린스 세정 → (7) 흡수 롤러에 의한 물 제거 → (8) 에어 나이프에 의한 슬릿 노즐 건조 → (9) 이오나이저 블로우 건조 (LD & ULD 포함). (로드 포트 부착)