웨이퍼 카세트 체인저

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장비 사양

반송 대상

1．다이싱 프레임

사이즈 200mm・300mm

두께 1.22 ± 0.08mm

뒤틀림 0.25mm 이하

접촉 가능 범위 뒷면

2．캐리어

표준 카세트 6매 카세트・13매 카세트

프레임 수납 피치 15mm

3．스루풋

택트 타임・반송 시간 180초/13매 이하

본 장치는 소정의 카세트에 수납된 200㎜, 300㎜용 다이싱 프레임을 표준 카세트로 교체하는 시스템입니다.

사용하는 카세트는 6매 카세트, 13매 카세트입니다. 각 카세트는 작업자가 스테이지에 공급합니.