제품 정보

EFEM・분류기 P-EFEM

고성능 AC 서보 모터를 탑재하여 넉넉한 가반 중량으로 고속 이송을 실현합니다. 로봇, 로드 포트, 핸드의 최적 배치가 가능합니다. 가혹한 환경에서도 20년 이상 가동 중인 로봇 기술을 계승합니다.

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장치 사양

이송 대상
300mm 웨이퍼
직경: Ø300 ± 0.2mm, 두께: 775μm
캐리어
300mm FOUP 25단 (SEMI E47.1)
300mm FOSB 25단 (SEMI M31)
전원 전압
단상 AC200V±10% 50/60Hz±5%
소비 전류
4kVA (20A/200VAC) FFU 포함
진공 (원압)
-80kPa～-90kPa
정압 (원압)
0.6MPa～0.7MPa
EMO 접점 출력
2계통 (드라이 접점)
인터록 (Interlock)
입력 8점 / 출력 8점 (절연 I/O)

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TYK2102-2
TYK2102-3
포트 수
2포트
포트 수
3포트
진공 (유량)
40L/min
진공 (유량)
50L/min
정압 (유량)
20L/min
정압 (유량)
30L/min

장치 특징

  • 얼라이너를 1대 또는 2대 탑재 가능, 높은 처리량 실현
  • 다양한 변형 및 맞춤형 대응 가능
  • 200mm/300mm 겸용 가능