EFEM・소터
EFEM・Sorter
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장치 사양
| 형식 | TYK2102-2 | TYK2102-3 |
|---|---|---|
| 포트수 | 2포트 | 3포트 |
| 반송 대상 | 300mm 웨이퍼 지름:Φ300±0.2mm 두께:775μm | |
| 캐리어 | 300mm FOUP 25단(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25단(SEMI M31) |
|
| 전원전압 | 단상 AC200V±10% 50/60Hz±5% | |
| 소비전류 | 4kVA (20A/200VAC) FFU포함 | |
| 진공(원압) | -80kPa～-90kPa | |
| 진공(유량) | 40L/min | 50L/min |
| 정압(원압) | 0.6MPa～0.7MPa | |
| 정압(유량) | 20L/min | 30L/min |
| EMO 접점출력 | 2계통(드라이 접점) | |
| 인터록 | 입력8점/출력8점(절연I/O) | |
개요
고성능 AC 서보 모터를 탑재, 여유로운 가반 중량으로 고속 반송을 실현합니다.로봇, 로드 포트, 핸드의 적합한 배치가 가능합니다.가혹한 환경에서 가동되고 있는 20년 이상의 로봇 기술을 계승합니다.
특장
- 얼라이너 1대, 2대 탑재 가능, 고 처리량 가능
- 다양한 바리에이션, 커스텀
- 200mm/300mm겸용가능