제품 정보

웨이퍼 박스 교환기 PCT2022

본 장치는 소정의 캐스셋에 수납된 200mm・300mm용 다이싱 프레임을 표준 캐스셋으로 교체하는 시스템입니다.
사용하는 캐스셋은 6매입 캐스셋과 13매입 캐스셋입니다. 각 캐스셋은 작업자가 스테이지에 공급합니다.

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장치 사양

다이싱 프레임
사이즈
200mm・300mm
두께
1.22 ± 0.08mm
휘어짐
0.25mm 이하
접촉 가능 범위
접촉 가능 범위
캐리어
표준 캐스셋
6매입 캐스셋・13매입 캐스셋
프레임 수납 피치
15mm
처리량
택트 타임・반송 시간
180초／13매 이하