제품 정보

웨이퍼 자동 박리 장치 PWD2020

와이어 소우(슬라이스) 후 웨이퍼 자동 박리 장치입니다. 플레이트 지그에 접착된 인곳을 투입 측에 세팅하면, 거친 세척부터 웨이퍼 박리, 웨이퍼 단일 세척, 건조, 카세트 수납까지를 전자동으로 수행하는 시스템입니다. 박리 후의 플레이트 지그는 언로더 측으로 배출됩니다.
박리는 열풍 가열 방식으로 한 장씩 진행합니다. 박리 후의 웨이퍼는 단일 방식으로 세척됩니다. 2유체 고압 세척, 스크럽 세척, 린스 세척, 흡수 롤러 건조, 슬릿 노즐 건조 후, 수평 다관절 로봇을 사용하여 언로더 부의 카세트에 한 장씩 수납합니다. 수납은 카세트(25장 수납 가능)의 상단 또는 하단에서 선택할 수 있습니다. 수납 카세트는 최대 6개까지 가능합니다. OHT 이송에 대응 가능합니다.

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장치 사양

수납
카세트 (25장 수납)
수납 카세트
최대 6개 (검토 가능합니다)
플레이트 지그
NTC제・MB제・KOYO제
구동 방식
모터 구동 (서보)
전원
AC200V, 100A
안전 기구
카세트 유무, 웨이퍼 유무, 과부하 감지, 이상 경보, 비상 정지
장치 중량
약 5,000kg
옵션
로더부 ID 리더, 언로더부 RFID, 웨이퍼 반전, 복수 카세트 수납, 영역 센서 등

웨이퍼 자동 박리 장치
PWD2010

Type0
Type1
대응 크기
Ø4〜8″
대응 크기
Ø4〜8″
구성
박리 부위
세척 부위1
세척 부위2
웨이퍼 이송 부위
구성
박리 부위
세척 부위1
세척 부위2
웨이퍼 이송 부위
이송 부
로더
언로더

웨이퍼 자동 박리 장치
PWD2020

Type0
Type1
대응 크기
Ø12″
대응 크기
Ø12″
구성
박리 부위
세척 부위1
세척 부위2
웨이퍼 이송 부위
구성
박리 부위
세척 부위1
세척 부위2
웨이퍼 이송 부위
이송 부
로더
언로더

장치 특징

  • 독자적인 제어를 통한 슬라이드 기구.
  • 어려웠던 웨이퍼 박리 후의 세척을 자동화.
  • 와이어 소우로 절단한 웨이퍼를 빔에서 박리한 후 단일 방식으로 세척하고, 카세트에 수납하기까지를 전자동으로 수행합니다.
  • 낮은 운영 비용을 실현.
  • 사용 중인 인곳 리프터에 맞춘 설계 가능.
  • 옵션에 따라 로더 ID 리더 추가 가능.
  • 옵션에 따라 언로더 캐리어 부에 RFID 기능 추가 가능.

도입 사례

수동으로 진행하던 박리를 자동화하고 싶습니다.
웨이퍼 정보를 관리하고 싶습니다.

검토 가능

카세트 스테이지 수, 자동화, 워크 크기, 투입 리프터 대응 설계 등