PICK UP TECHNOLOGY

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  Semiconductor Manufacturing Prosess

  半導体製造プロセス

  半導体デバイスは、ウェーハと呼ばれる高純度の単結晶シリコン基板に微細加工技術を繰り返し適用することで作り上げられます。PHTは、半導体製造装置用の工程内ウェーハ搬送装置、工程間ウェーハ搬送装置、ストッカーの搬送装置を専門とするメーカーとして、先端デバイス向けの300mmウェーハおよびIoT・車載向けの200mmウェーハの製造プロセスを支えています。

  半導体製造

  半導体製造装置

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  Manufacture and Sale of Semiconductor Manufacturing Equipment

  半導体製造装置の製作・販売

  PHTは、半導体製造装置の製作・販売を行っています。ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）で世界トップクラスのシェアを持つPHTは、ロボットのトップレベル技術を活かして半導体製造装置を生産し、主要メーカーに納入しています。ロボットにはウェーハマッピング機能が備わっており、OPENキャリア側のウェーハ在荷も検出可能です。20年以上稼働している装置も正常に動作し、メタル汚染やパーティクルの増加はありません。PHTは、半導体の高機能化・高性能化を支え続けています。

  半導体ロボットシリーズ

  半導体レーザ技術シリーズ

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  Enagy Saving Semiconductor Transfer equipment

  省エネ向けの半導体搬送装置

  ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）で世界トップクラスのシェアを持つPHTは、シリコンウェーハの搬送やレーザー加工技術を活用し、次世代のSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）といった化合物半導体材料向けに、搬送ソリューション（ロボット、搬送・移載装置、EFEM、ソーター、自動剥離洗浄装置、洗浄装置）を提供しています。特にパワー半導体製造装置市場に積極的にアプローチしており、PHTは省エネ用途（EV、電力制御）向け半導体製造装置分野で、総合的なソリューション提供体制を構築しています。

  シリコンウェーハ

  化合物半導体

  パワー半導体

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  Mass Production of Modular Semiconductor Wafer Cleaning Equipment

  モジュール式半導体ウェーハ洗浄装置の量産

  PHTの半導体ウェーハ洗浄装置（ウェーハ洗浄機）は、独自のユニットモジュール化技術により、プロセスの柔軟性、コスト効率、メンテナンス性の向上を実現しています。代表的な洗浄方法には、純水ブラシ洗浄、RCA洗浄、HF洗浄があり、SiCウェーハの洗浄にはオゾン水を用いた酸化処理にも対応しています。PHTは、業界トップクラスの技術を活かし、モジュール式半導体ウェーハ洗浄装置の量産化を目指して製造を進めています。

  半導体洗浄技術

  アルカリエッチング

  モジュール化量産