Manufacture and Sale of Semiconductor Manufacturing Equipment
PHTは、半導体製造装置の製作・販売を行っています。ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)で世界トップクラスのシェアを持つPHTは、ロボットのトップレベル技術を活かして半導体製造装置を生産し、主要メーカーに納入しています。ロボットにはウェーハマッピング機能が備わっており、OPENキャリア側のウェーハ在荷も検出可能です。20年以上稼働している装置も正常に動作し、メタル汚染やパーティクルの増加はありません。PHTは、半導体の高機能化・高性能化を支え続けています。
Enagy Saving Semiconductor Transfer equipment
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)で世界トップクラスのシェアを持つPHTは、シリコンウェーハの搬送やレーザー加工技術を活用し、次世代のSiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)といった化合物半導体材料向けに、搬送ソリューション(ロボット、搬送・移載装置、EFEM、ソーター、自動剥離洗浄装置、洗浄装置)を提供しています。特にパワー半導体製造装置市場に積極的にアプローチしており、PHTは省エネ用途(EV、電力制御)向け半導体製造装置分野で、総合的なソリューション提供体制を構築しています。
Mass Production of Modular Semiconductor Wafer Cleaning Equipment
PHTの半導体ウェーハ洗浄装置(ウェーハ洗浄機)は、世界初のユニットモジュール化により高い競争力を持っています。前工程での洗浄は、各工程で発生する汚染物の除去が主な目的であり、後工程での洗浄はパーティクルおよび金属の除去を主な目的としています。代表的な洗浄方法としては、RCA洗浄が用いられます。PHTはトップレベルの技術を活かした半導体製造装置を生産し、トップメーカーへの納品実績も豊富です。あらゆるウェット処理工程で活躍が可能です。
国内6拠点
海外5拠点