Robot and Laser Technology
半導体形成において、製造装置生産プロセスの工程です。ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）世界トップクラスのシェアのPHTはロボットのトップレベル技術を活かし半導体製造装置を生産、トップメーカーに納入。ロボットにウェーハマッピング機能が付帯されているので、OPENキャリア側のウェーハ在荷も検出可能。20年以上の装置も、正常に稼働し、メタル汚染・パーティクル増加はないです。半導体の高機能化、高性能化を支えています。
Energy Saving Semiconductor Technology
ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）世界トップクラスのシェアのPHT株式会社はこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。PHTは、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。
Wafer And Power Device Cleaning Technology
PHTの半導体ウェーハ洗浄装置（ウェーハ洗浄機）の競争力は、世界初の各ユニットのモジュール化です。前工程での洗浄はそれぞれの工程で生じる汚染物の除去が主たる目的で、後工程での洗浄はパーティクル除去及びメタル除去が主たる目的です。代表的な洗浄手法はＲＣＡ洗浄と呼ばれる洗浄方法になります。トップレベル技術を活かし半導体製造装置を生産、トップメーカーへの納品実績もございます。あらゆるウエット処理工程において活躍が可能です。
1980年
182名
国内6拠点
海外5拠点
51億円
52%
