製品情報

ウェーハカセットチェンジャー PCT2022

本装置は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。

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装置仕様

ダイシングフレーム
サイズ
200mm・300mm
厚さ
1.22 ± 0.08mm
反り
0.25 mm以下
接触可能範囲
裏面
キャリア
標準カセット
6枚入カセット・13枚入カセット
フレーム収納ピッチ
15mm
スループット
タクトタイム・搬送時間
180秒／13枚以下