製品特徴
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後（Ｘ軸）・旋回（θ軸）・上下（Ｚ軸）+ハンド回転（０～１８０°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ＡＣサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
製品概要
| モデル | PHT-R-3 |
|---|---|
| 設置環境 | クリーンルーム内 大気中 温度１０℃～３５℃ 湿度７０％ＲＨ以下 |
| アーム | シングルアーム 材質 アルミ・ＣＦＲＰ・セラミック |
| 動作範囲 | Ｘ軸：５００mm θ軸：３４０deg Ｚ軸：３００mm ハンド回転：０～１８０° |
| 動作速度（最速） | Ｘ軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Ｚ軸：250mm/sec ハンド回転：180deg/sec |
| 可搬質量 | ３kg（ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計） |
ロボット標準仕様
| ロボット型式 | PHT-R-3-2024 |
|---|---|
| 被搬送物 | ～300 mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） |
| ウェーハ保持方式 | 真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド |
| 機械構造形式 | 水平多関節型 円筒座標系 |
| 制御軸 | 3軸 |
| 駆動源 | 伸縮・旋回・上下 3軸 AC サーボ駆動 |
| モータタイプ | ＡＣサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 |
| 搬送ハンド | CFRP+PEEK ウエハ落とし込み方式 |
| マッピング | 光電式 透過型センサ |
| 重量 | 本体重量：約４７Kg コントローラ：約 ８Kg |
| 制御ケーブル | 3ｍ（標準）・5ｍ・10ｍ |
| 制御仕様（1） | パラレルインターフェース 入力32点 出力32点 |
| 制御仕様（2） | シリアルインターフェース RS－232C×1回線 |
| 繰り返し精度 | ±0.1mm 以下 |
| クリーン度 | ISO クラス 2 (0.1μm以上 10個/ｍ³以下) |
| ユーティリティ | 定格電圧：単相 AC200～230V±10% 定格電流：5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上 |
| コントローラ仕様 | |
| コントローラ型式 | MFD |
| インタフェース | RS232C １回線 デジタルＩＯ 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下 |