ウェーハカセットチェンジャー

ウェーハカセットチェンジャー PCT2022

お問い合わせ

装置仕様

処理物
1.ダイシングフレーム
サイズ 200mm・300mm
厚さ 1.22 ± 0.08mm
反り 0.25mm以下
接触可能範囲 裏面
2.キャリア
標準カセット 6枚入カセット・13枚入カセット
フレーム収納ピッチ 15mm
3.スループット
タクトタイム・搬送時間 180秒/13枚以下

概要

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。

使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。