ウェーハカセットチェンジャー

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装置仕様

搬送対象

1．ダイシングフレーム

サイズ 200mm・300mm

厚さ 1.22 ± 0.08mm

反り 0.25mm以下

接触可能範囲 裏面

2．キャリア

標準カセット 6枚入カセット・13枚入カセット

フレーム収納ピッチ 15mm

3．スループット

タクトタイム・搬送時間 180秒／13枚以下

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。

使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。