製品情報

ウェーハ自動剥離装置 PWD2020

ワイヤーソー（スライス）後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに１枚毎に収納します。収納は、カセット（25枚入）の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。

カタログダウンロード お問い合わせ・見積依頼

装置仕様

収納
カセット（25枚入）
収納カセット
最大6個（検討可能でございます）
プレート治具
NTC製・MB製・KOYO製
駆動方式
モーター駆動（サーボ）
電源
AC200V, 100A
安全機構
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止
装置重量
約5,000kg
オプション
ローダー部IDリーダー、アンローダー部RFID、ウェーハ反転、複数カセットへの収納、エリアセンサーなど

ウェーハ自動剥離装置 PWD2010

Type0
Type1
対応サイズ
Ø4〜8″
対応サイズ
Ø4〜8″
構成
剥離部位
清洗部位1
清洗部位2
ウェーハ搬送部位
構成
剥離部位
清洗部位1
清洗部位2
ウェーハ搬送部位
搬送部
ローダー
アンローダー

ウェーハ自動剥離装置 PWD2020

Type0
Type1
対応サイズ
Ø12″
対応サイズ
Ø12″
構成
剥離部位
清洗部位1
清洗部位2
ウェーハ搬送部位
構成
剥離部位
清洗部位1
清洗部位2
ウェーハ搬送部位
搬送部
ローダー
アンローダー

装置特長

  • 独自の制御によるスライド機構。
  • 困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。
  • ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。
  • 低ランニングコストを実現。
  • ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。
  • オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。
  • オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。

導入事例

手動での剥離を自動化したい
ウェーハの情報を管理したい

検討可能

カセットステージ数、自動化、ワークサイズ、投入リフター対応設計など