製品情報

ウェーハ搬送装置

半導体製造には，非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる．当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ搬送装置も，そのような要求に応えるように他社に先駆けてさまざまな工夫がなされている．その高い信頼性と生産性はワールドワイドのお客さまから評価されています。最先端の業界スタンダード装置として、最先端技術と多様なニーズに対応すべく進化し続けています。

カタログダウンロード お問い合わせ・見積依頼

ウェーハ搬送装置 PWT2020

クリーンロボットを応用したシステムです。
300mmのウェーハを１枚単位で、カセット（容器）A～Bへ搬送します。
対応するカセット（容器）は、FOUP・FOSB・OPEN・PFAです。
1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能です。
カセット間でウェーハを安全に一括搬送・スロット指定搬送（同一キャリア内搬送可）致します。
カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。

装置仕様

ワーク
半導体ウェーハ
電源
AC200V, 15A
装置重量
約500kg
ワーク厚さ
600～850μm
ワークサイズ
300mm
スループット
25枚/1カセット搬送時間　300秒以下
駆動方式
モーター駆動（サーボ）
装置サイズ
W1000 × D1400 × H1800 (mm)
カセット（容器）
FOUP・FOSB・OPEN・PFA
搬送単位
1枚単位・5枚単位・25枚単位
安全機構
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止
Tオプション
静電気除去装置（イオナイザー）・ 全面カバー ・ エリアセンサー
IDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など

装置特長

  • 省スペース
  • 静電気対策型
  • 光及び機械センサーでエラーを監視
  • マッピングセンサー付き
  • FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
  • クラス10クリーンルーム対応

導入事例

簡易的にウェーハを搬送したい
カセット内ワークの擦れを抑えたい

検討可能

カセットステージ数、自動化、ワークサイズ等

装置用途

装置メーカーが使用するケース
  • ① デバイスメーカーから評価用のウェーハがFOSB（出荷用ケース）で支給される。
  • ② 装置メーカーのシステムに使うキャリア（例えばFOUP）への移載を行う。
  • ③ 評価後のウェーハをFOSBに移載する。（デバイスメーカーへ返却）。

装置メーカー例

エッチング装置・アッシング装置・洗浄装置・コーターデベロッパー・露光機等。

ウェーハメーカーが使用するケース
  • ① 完成ウェーハ（最終洗浄・検査完了後）をFOSB（出荷ケース）に移載する。
  • ② プロセス（洗浄工程等）間で、PFAキャリア（洗浄用キャリア）に移し替える。

12″対応　枚葉式 石英ガラスウェーハ移載装置 PGT2020

本装置は、Ø300mm（12″）石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。
基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。
空気洗浄度：ISO　Class3（ISO-14644）

装置概要

スループット
  • ノッチ合わせを行う場合
  • タクトタイム・移載時間：6分30秒/25枚以下
処理物
ウェーハ
  • Ø300mm　石英ガラス・ノッチ
  • 直径　Ø300mm ± 0.2mm
  • 厚さ　400～700μm
  • 反り　40μm以下
  • 接触可能範囲　ウェーハ裏面
キャリア
  • オートドアFOSB型式　指定品
  • FOUP型式　指定品
  • ウェーハ収納ピッチ10mm
各部仕様
各部仕様（1）

ステージ 1（ローダー）

  1. 装置正面左側ステージ
  2. 対応キャリア
    • ① オートドアFOSB　　　ウェーハ収納ピッチ 10mm × 25枚
    • ② FOUP SEMI規格品　　 ウェーハ収納ピッチ 10mm × 25枚
  3. センサ機能
    • ① カセット内のウェーハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置する。
各部仕様（2）

ステージ 2（アンローダー）

  1. 装置正面右側ステージ
  2. 対応キャリア
    • ① オートドアFOSB　　　ウェーハ収納ピッチ 10mm × 25枚
    • ② FOUP SEMI規格品　　 ウェーハ収納ピッチ 10mm × 25枚
  3. センサ機能
    • ① カセット内のウェーハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置する。
各部仕様（3）

ウェーハ搬送ロボット

  1. 動作　伸縮・旋回・上下　3軸ロボット（サーボモータ駆動）。
  2. ロボットハンド　CFRP製　ウェーハ接触部　PEEK　エッジホールド方式。
  3. ウェーハ移載仕様　基本は、カセット下部～取出→上段～収納とする。
  4. 平行移載・抜き取りも可能とする。