3軸クリーンロボット

モデル

PHT-R-3

可搬質量

3kg（ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計）

設置環境

クリーンルーム内
大気中温度10℃～35℃　湿度70％RH以下

アーム

シングルアーム
材質：アルミ・CFRP・セラミック

動作範囲

X軸：500mm
θ軸：340deg
Z軸：300mm
ハンド回転：0～180°

動作速度（最速）

X軸：500mm/sec
θ軸：200deg/sec
Z軸：250mm/sec
ハンド回転：180deg/sec

ロボット型式

PHT-R-3-2024

制御ケーブル

3ｍ（標準）・5ｍ・10ｍ

ウェーハ保持方式

真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド

機械構造形式

水平多関節型　円筒座標系

制御軸

3軸

駆動源

伸縮・旋回・上下　3軸 AC サーボ駆動

モータタイプ

ACサーボモータ　アブソリュートエンコーダ仕様

搬送ハンド

CFRP+PEEK ウエーハ落とし込み方式

マッピング

光電式 透過型センサ

繰り返し精度

±0.1mm 以下

重量

本体重量：約47Kg
コントローラ：約8Kg

クリーン度

ISO クラス2（0.1μm以上　10個/ｍ³以下）

制御仕様（1）

パラレルインターフェース
入力32点　出力32点

制御仕様（2）

シリアルインターフェース
RS－232C × 1回線

ユーティリティ

定格電圧：単相 AC200～230V ± 10%
定格電流：5A
真空：-80kPa以下　10NL/min以上

被搬送物

～300mmウェーハ
その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します

コントローラ仕様

コントローラ型式

MFD

インタフェース

RS232C 1回線 デジタルIO
入力：32点・DC24V 8mA
出力：32点・DC24V ± 3V 0.1A以下