製品情報

EFEM・ソータ P-EFEM

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

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装置仕様

搬送対象
300mmウェーハ
径：Ø300 ± 0.2mm　厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段（SEMI E47.1）
300mm FOSB 25段（SEMI M31）
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA（20A/200VAC）FFUを含む
真空（元圧）
-80kPa～-90kPa
正圧（元圧）
0.6MPa～0.7MPa
EMO接点出力
2系統（ドライ接点）
インターロック
入力8点/出力8点（絶縁I/O）

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TYK2102-2
TYK2102-3
ポート数
2ポート
ポート数
3ポート
真空（流量）
40L/min
真空（流量）
50L/min
正圧（流量）
20L/min
正圧（流量）
30L/min

装置特長

  • アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
  • 様々ななバリエーション、カスタム対応
  • 200mm/300mm兼用可能