제품 매뉴얼

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4축 클린 로봇
PHT-R-4
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3축 클린 로봇
PHT-R-3
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유리 기판용 클린 로봇
PHT2200
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PDF (563KB)

웨이퍼 박스 교환기
PCT2022
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PDF (1,019KB)

웨이퍼 이송 장치
PWT2020
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12″ 대응 매엽식
석영 유리 웨이퍼 이송 장치
PGT2020
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PDF (730KB)

EFEM・분류기
P-EFEM
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PDF (1,152KB)

웨이퍼 자동 박리 장치
PWD2020
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PDF (1,698KB)

실리콘 웨이퍼 배치식 자동 세정 장치
SCC-250
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PDF (494KB)

캐리어 수신 및 세정 장치
PWG-2501
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