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4軸クリーンロボット
PHT-R-4
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3軸クリーンロボット
PHT-R-3
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ガラス基板用クリーンロボット
PHT2200
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ウェーハカセットチェンジャー
PCT2022
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ウェーハ搬送装置
PWT2020
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12″対応　枚葉式
石英ガラスウェーハ移載装置
PGT2020
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EFEM・ソータ
P-EFEM
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ウェーハ自動剥離装置
PWD2020
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ウェーハバッチ式自動洗浄装置
SCC-250
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ウェーハ枚葉式自動洗浄装置
PWS2501
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キャリア基板受入れ洗浄装置
PWG-2501
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