1.ウエハ表面のパーティクル数が少ない。

MTKは独自の処理チャンバー構造を持っています。またウエハ処理中の気流、液流の最適化を計り最適な処理レシピ、薬液の選択を行うことにより、極めて少ない表面パーティクル数を実現しています。

2.高性能、コストパフォーマンスに優れた洗浄装置。

現在の洗浄装置市場では高性能であるが高価格、逆に低価格ではあるが低性能といった状態になっております。

一方『高性能は欲しいが、高価格で困る』というお客様の声も聞こえてきます。

MTKではお客様の声にお応え致します。

3.プロセス条件の技術提案。

とかく装置製造メーカーはハードウエアには詳しいですが、プロセス技術が不得手な場合多いのが現実です。

しかしMTKはもともと半導体製造会社出身者が在籍しているため、顧客に対して最適なプロセス条件をご提案できます。

例

◯薬液選定をご提案致します。

◯処理時間、回転数などのレシピをご提案致します。

◯オゾン水、水素水、その他の機能水のご提案を致します。

パーティクル・金属除去洗浄。

薬液によるエッチング処理。

ウエハ裏面洗浄。

◯半導体（前工程・後行程）

◯SAWフィルター等のセンサー

◯ハードディスク

◯FPD（液晶、スマートフォン等）、マスク洗浄

◯MEMS

◯太陽電池